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| 多晶硅铸锭原料中重掺料的影响 | |
| 作者单位： | ;1.南京三乐集团有限公司;2.南京医科大学康达学院 |
| 摘 要： | 多晶硅铸锭中需要用到原生多晶硅、碎片、边皮等一系列的多种硅料,而这些硅料中如果存在重掺料,会降低硅锭预期电阻率,影响硅锭品质。如果将重掺料检测出并去除,便能够将多晶硅锭电阻率按生产要求控制在1~3Ω·cm,并使多晶硅锭电阻率符合预定规律。 |
| 关 键 词： | 多晶硅铸锭 重掺 电阻率 |
Effect of Heavy Dosing in Polycrystalline Silicon Ingot |
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