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| 超导材料的加工方法 | |
| 引用本文： | 李爱琴.超导材料的加工方法[J].河南科技,1990(1). |
| 作者姓名： | 李爱琴 |
| 摘 要： | <正> 一、低温制造法: 日本京都大学化学研究所最近研究出一种超导材料的低温制造法。该方法使Y—Ba—Cu—O(钇—钡—铜—氧)薄膜在低温下淀积,而不致损坏常规大规模集成电路。制造0.15μm薄膜,是将三种初级粒子金属进行加热、蒸发,并以单晶氧化薄膜形式沉淀在一种 |
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