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200吨/年多晶硅装置工程设计
引用本文:柳松喜,张干,刘瑞英.200吨/年多晶硅装置工程设计[J].河南科技,2010(12).
作者姓名:柳松喜  张干  刘瑞英
作者单位:洛阳瑞泽石化工程有限公司
摘    要:山东鼎昌硅业科技有限公司根据市场需要新建一套200吨/年太阳能级多晶硅生产装置.该装置采用改良西门子工艺,主要包括三氯氧硅提纯部分、干法回收部分、多晶硅还原与后处理部分以及配套的纯水、氮气、导热油等辅助系统.装置于2009年12月建成,20lO年7月投产,产品一次分析合格,经考核,装置满足设计要求.

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