| 脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟 |
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| 引用本文： | 胡春香,吴瑜之.脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟[J].海南师范大学学报(自然科学版),2008,21(2):153-157. |
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| 作者姓名： | 胡春香 吴瑜之 |
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| 作者单位： | 江西蓝天学院公教部数理教研室,江西,南昌,330098 |
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| 摘 要： | 利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,同时对等离子体在空间膨胀的物理机制进行了深入的讨论.
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 等离子体羽辉 差分模拟 粒子速度 ZnO薄膜 |
Simulation of the dynamics process of pulsed laser deposition of ZnO thin film |
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| Hu Chunxiang,Wu Yuzhi.Simulation of the dynamics process of pulsed laser deposition of ZnO thin film[J].Journal of Hainan Normal University:Natural Science,2008,21(2):153-157. |
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| Authors: | Hu Chunxiang Wu Yuzhi |
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