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双硅源选择外延及侧向过外延的生长特性

引用本文：	缪国庆,刘明登.双硅源选择外延及侧向过外延的生长特性[J].吉林大学自然科学学报,1992(1):71-74.

作者姓名：	缪国庆刘明登

摘要：
关键词：	硅外延侧向过生长 SOI结构
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