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| ITO退火膜的光学和电学特性 | |
| 引用本文： | 王刚,赵超.ITO退火膜的光学和电学特性[J].吉林大学自然科学学报,1999,289(4):61-65. |
| 作者姓名： | 王刚 赵超 |
| 作者单位： | [1]中国科学院长春物理研究所 [2]吉林大学电子工程系 |
| 摘 要： | 对不同氧流量下用直流磁控溅射法制备的ＩＴＯ薄膜进行退火处理，并对退火后ＩＴＯ薄膜的光电特性进行分析。结果表明，Ｎ２气氛下退火可以改善ＩＴＯ薄膜的结晶性，同时使ＩＴＯ薄膜质量得到优化，并显著提高ＩＴＯ薄膜的透明性和电导性。 |
| 关 键 词： | ITO薄膜 氧空位 光学特性 电学特性 氧化铟薄膜 |
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