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白光快速退火注Si^＋砷化镓的X射线双晶衍射谱

引用本文：	顾宏,夏冠群.白光快速退火注Si^＋砷化镓的X射线双晶衍射谱[J].应用科学学报,1995,13(1):39-45.

作者姓名：	顾宏夏冠群

摘要：
关键词：	离子注入双晶衍射砷化镓硅白光退火半导体
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