| 基于多层膜巨磁电阻磁场传感器制作工艺与特性研究 |
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| 引用本文： | 漆园园,赵晓锋,于志鹏,邓祁,温殿忠.基于多层膜巨磁电阻磁场传感器制作工艺与特性研究[J].黑龙江大学自然科学学报,2020,37(4):484-490. |
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| 作者姓名： | 漆园园 赵晓锋 于志鹏 邓祁 温殿忠 |
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| 作者单位： | 黑龙江大学 电子工程学院,哈尔滨150080,黑龙江大学 电子工程学院,哈尔滨150080,黑龙江大学 电子工程学院,哈尔滨150080,黑龙江大学 电子工程学院,哈尔滨150080,黑龙江大学 电子工程学院,哈尔滨150080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 多层膜巨磁电阻 (Co/Cu/Co)n多层膜 磁场传感器 剥离工艺 |
Fabrication technology and characteristics research of giant magnetic resistance magnetic field sensor based on multi-layer film |
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| QI Yuanyuan,ZHAO Xiaofeng,YU Zhipeng,DENG Qi,WEN Dianzhong.Fabrication technology and characteristics research of giant magnetic resistance magnetic field sensor based on multi-layer film[J].Journal of Natural Science of Heilongjiang University,2020,37(4):484-490. |
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| Authors: | QI Yuanyuan ZHAO Xiaofeng YU Zhipeng DENG Qi WEN Dianzhong |
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