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| 甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜 | |
| 引用本文： | 黄锋,罗北平,许友,余红霞,武鹄.甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜[J].湖南理工学院学报,2013(1):52-56. |
| 作者姓名： | 黄锋 罗北平 许友 余红霞 武鹄 |
| 作者单位： | 湘潭大学化工学院;湖南理工学院化工系 |
| 基金项目： | 湖南省自然科学基金重点项目(11JJ2028) |
| 摘 要： | 在铜基体上,用甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜.电镀液组成为:醇水比为4:1,添加剂KCl为3g/L,AlCl3微量.探讨电流密度和两极间距等因素对于电极表面气泡区域厚度、均匀程度、稳定性的影响,进而分析其对甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜的影响.通过扫描电镜(SEM)观察薄膜表面形貌;通过对X射线衍射(XRD)图谱分析得知薄膜成多晶结构,分别在2θ=43.9°,50.9°和75.3°处出现了(111)、(200)和(220)晶面的特征峰,晶粒的尺寸约为8~15nm左右;通过EDX分析得到薄膜中碳元素含量较高,并分析了电场强度随时间的变化. |
| 关 键 词： | DLC薄膜 微观结构 等离子体 电流密度 极间距 电沉积 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |