| 微机电系统技术及其应用 |
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| 引用本文： | 赵运才,李克安.微机电系统技术及其应用[J].湖南理工学院学报,2004,17(4):86-89. |
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| 作者姓名： | 赵运才 李克安 |
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| 作者单位： | 湖南理工学院机电系 湖南岳阳414000
(赵运才)，湖南理工学院机电系 湖南岳阳414000(李克安) |
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| 基金项目： | 湖南省教育厅青年项目资助 (0 4B0 3 5 ) |
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| 摘 要： | 微机电系统是一个新型的多学科交叉的研究领域 ,具有广阔的应用前景。在概述微机电系统发展状况的基础上 ,归结分析了微机电系统在组成结构及特征、材料特性及加工工艺、力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征 ,并对微机电系统的主要应用领域进行了讨论。
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| 关 键 词： | 微机电系统 组成及特征 材料特性及加工工艺 应用领域 |
| 文章编号： | 1672-5298(2004)04-0086-04 |
| 修稿时间： | 2004年7月21日 |
Technology and application of MEMS |
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| ZHAO Yun-cai,LI Ke-an.Technology and application of MEMS[J].Journal of Hunan Institute of Science and Technology,2004,17(4):86-89. |
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| Authors: | ZHAO Yun-cai LI Ke-an |
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| Abstract: | Micro-electro-mechanic systems is a new emerging technology and interdisciplinry,which have a broad application prospect.On the base of summarizing the achievement of research in this field,structure,material characteristic,machining process anel mechanics behavior different from general machine were analysed,and the main application fields were discussed. |
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| Keywords: | MEMS structure and character material and machining process application fields |
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