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不同Al掺杂对ZnO薄膜结构及光学性质的影响
引用本文:马书懿,史新福,袁玉凤,毛雷鸣,丁继军,周婷婷.不同Al掺杂对ZnO薄膜结构及光学性质的影响[J].西北师范大学学报,2009,45(5):48-51.
作者姓名:马书懿  史新福  袁玉凤  毛雷鸣  丁继军  周婷婷
作者单位:马书懿,史新福,毛雷鸣,丁继军,周婷婷(西北师范大学,物理与电子工程学院,甘肃,兰州,730070);袁玉凤(鲁山县第二高级中学,高二物理组,河南,平顶山,467300) 
基金项目:国家自然科学基金资助项目,甘肃省自然科学基金资助项目 
摘    要:采用磁控溅射法(RF)在玻璃衬底上沉积不同Al含量的ZnO薄膜,利用X 射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外分光光度计研究了不同浓度的掺杂对薄膜结构和光学性能的影响.结果显示:所有样品都呈现出较强的(002)衍射峰,有较好的c轴择优取向;薄膜表面平整光滑,晶界较明显;薄膜的平均透射率均在85%以上,并随着Al掺杂量的增加而降低;随着Al掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值先增大,后减小,吸收边先蓝移,后红移.这与量子限制模型计算结果的变化趋势完全一致.

关 键 词:磁控溅射法  Al-ZnO薄膜  掺杂  透射

The influence of different Al concentration doped ZnO thin film on structural and optical properties
Abstract:
Keywords:
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