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| 13.56 MHz/94.92 MHz双频容性耦合氩等离子体特性研究 | |
| 引用本文： | 袁强华,孟祥国,殷桂琴,吴良超,刘珊珊.13.56 MHz/94.92 MHz双频容性耦合氩等离子体特性研究[J].西北师范大学学报,2019(4). |
| 作者姓名： | 袁强华 孟祥国 殷桂琴 吴良超 刘珊珊 |
| 作者单位： | 西北师范大学物理与电子工程学院 |
| 摘 要： | 利用高频频率(HF)为94.92 MHz,低频频率(LF)为13.56 MHz获得了氩等离子体.采用发射光谱法(OES)监测并诊断了氩等离子体的演化过程.基于费米-狄拉克模型计算了电子温度,用连续谱绝对强度法计算了电子密度.结果表明,电子温度随着低频功率的增大而升高,随着高频功率的增大而降低;电子温度随气压的升高而降低;电子密度随高频功率和低频功率的增大而增大;电子密度随气压的增大呈现出先增大后减小的趋势并且在60mTorr附近出现峰值. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |