| 羰基金属气相沉积方法进行Al2O3基片表面合金化研究 |
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| 引用本文： | 章娴君,王显祥,罗玲,郑慧雯.羰基金属气相沉积方法进行Al2O3基片表面合金化研究[J].西南师范大学学报(自然科学版),2002,27(4):521-523. |
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| 作者姓名： | 章娴君 王显祥 罗玲 郑慧雯 |
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| 作者单位： | 西南师范大学化学化工学院,重庆,400715 |
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| 基金项目： | 教育部重点项目资助 (9710 2 ) . |
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| 摘 要： | 利用羰基金属气相沉积的方法，以Fe(CO)5和Mo(CO)6为源，在Al2O3陶瓷基片上，制备了具有一定的化学组成和稳定的显微结构的Fe/Mo表面合金化层，大大提高了材料的表面性能。作为表面改性的新技术，可以广泛应用于许多重要的技术领域。
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| 关 键 词： | 气相沉积方法 Al2O3 表面合金化 表面改性 羰基金属 铁／锰合金膜 三氧化二铝陶瓷基片 |
| 文章编号： | 1000-5471(2002)04-0521-03 |
| 修稿时间： | 2001年11月19 |
Study on the Alloy of Al2O3 Substrate Surface by Chemical Vapour Deposition(CVD) of Carbonyl Metals |
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| ZHANG Xian jun,WANG Xian xiang,LUO Lin,ZHENG Hui wen School of Chemistry and Chemical Engineering,Southwest China Normal University,Chongqing ,China.Study on the Alloy of Al2O3 Substrate Surface by Chemical Vapour Deposition(CVD) of Carbonyl Metals[J].Journal of Southwest China Normal University(Natural Science),2002,27(4):521-523. |
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| Authors: | ZHANG Xian jun WANG Xian xiang LUO Lin ZHENG Hui wen School of Chemistry and Chemical Engineering Southwest China Normal University Chongqing China |
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| Institution: | ZHANG Xian jun,WANG Xian xiang,LUO Lin,ZHENG Hui wen School of Chemistry and Chemical Engineering,Southwest China Normal University,Chongqing 400715,China |
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| Abstract: | The Fe/Mo alloy membranes have been prepared on Al 2O 3 ceramic substrate using Chemical Vapour Deposition of Fe(CO) 5 and Mo(CO) 6. These membranes has stable chemical composition and microstructure. The hardness and polish of surface could be enhanced greatly. As new technology of surface modified, it can be used widely in many important technologic fields. |
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| Keywords: | Chemical Vapour Reposition(CVD) surface modified alloy impedance films |
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