|
|||||
|
|
| MOCVD法制备金属-陶瓷功能梯度材料的研究 | |
| 引用本文： | 章娴君,郑慧雯,张庆熙,王显祥.MOCVD法制备金属-陶瓷功能梯度材料的研究[J].西南师范大学学报(自然科学版),2005,30(4):682-686. |
| 作者姓名： | 章娴君 郑慧雯 张庆熙 王显祥 |
| 作者单位： | 1. 西南师范大学,化学化工学院,重庆,400715 2. 西南师范大学,化学化工学院,重庆,400715;巴蜀中学,重庆,400013 3. 四川农业大学,生命科学与理学院,四川,雅安,625014 |
| 摘 要： | 利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）方法，以Mo（CO）6，Si（OC2H5）4为物源，在Al2O3陶瓷基片上制备了金属一陶瓷功能梯度材料，并用XPS，XRD，SEM等技术对其成分分布，物相组成和表面形貌进行测试和表征，结果表明：材料的组成沿厚度方向呈连续梯度变化，符合功能梯度材料的变化规律。 |
| 关 键 词： | 功能梯度材料（FGM） 金属有机化学气相沉积（MOCVD） X射线光电子能谱（XPS） 表面形貌 |
| 文章编号： | 1000-5471（2005）04-0682-05 |
| 收稿时间： | 2004-07-25 |
| 修稿时间： | 2004年7月25日 |
The Preparation of Metal-Ceramic Functional Gradient Materials by MOVCD |
|
| ZHANG Xian-jun,ZHENG Hui-wen,ZHANG Qing-xi,WANG Xian-xiang.The Preparation of Metal-Ceramic Functional Gradient Materials by MOVCD[J].Journal of Southwest China Normal University(Natural Science),2005,30(4):682-686. | |
| Authors: | ZHANG Xian-jun ZHENG Hui-wen ZHANG Qing-xi WANG Xian-xiang |
| Abstract: | The Mo/SiO_2 Functional Gradient Materials have been developed on the ceramic substrates of Al_2O_3 by using metal organic chemical vapour deposition (MOCVD) with Mo(CO)_6 and Si(OC_2H_5)_4. The destribution of component, composition and surface configuration are measured by XPS, XRD and SEM. The result showed that the materials described in the paper conformed the law of the gradient materials. |
| Keywords: | functional gradient material(FGM) metal organic chemical vapour deposition(MOCVD) XPS the surface configuration |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《西南师范大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《西南师范大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 | |