| 羰基钼化学气相沉积对模具表面改性的研究 |
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| 引用本文： | 吕弋,章娴君,罗玲,郑瑞伦.羰基钼化学气相沉积对模具表面改性的研究[J].西南师范大学学报(自然科学版),2000,25(3):277-280. |
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| 作者姓名： | 吕弋 章娴君 罗玲 郑瑞伦 |
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| 作者单位： | 1. 西南师范大学化学化工学院,重庆,400715
2. 西南师范大学物理系,重庆,400715 |
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| 摘 要： | 以Mo(CO) 6 为物源在刀具钢回火温度以下实施了气相沉积超硬膜涂覆 ,经实验测试、分析 ,结果表明薄膜中含碳量是影响薄膜表观硬度的重要因素 ,并且该薄膜能改善刀具 (钻头 )的表面力学性能 ,增加其使用寿命
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| 关 键 词： | Mo(CO)_6 化学气相沉积 碳含量 使用寿命 |
Study on modification of instrument surface by the vapour deposition of molybdenum hexacarbonyl |
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| LU Yi,ZHANG Xian-jun,LUO Ling,ZHEMG Rui-lun.Study on modification of instrument surface by the vapour deposition of molybdenum hexacarbonyl[J].Journal of Southwest China Normal University(Natural Science),2000,25(3):277-280. |
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| Authors: | LU Yi ZHANG Xian-jun LUO Ling ZHEMG Rui-lun |
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| Abstract: | The preparation of super-hard membrane on th e steel instrument under the tempe ring point by metal organic chemical vapour deposition(MOCVD) of Mo(CO)\-6 have been developed . It showed that the carbon contents in deposited membrane are a main effect of inflecting the hardness of membrane and improving the surface sta te and service life. |
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| Keywords: | Mo(CO)\-6 MOCVD carbon content service life |
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