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第9届国际等离子体表面工程会议
引用本文:王克明.第9届国际等离子体表面工程会议[J].国际学术动态,2005(3):39-40.
作者姓名:王克明
摘    要:第9届国际等离子体表面工程会议(简称PSE2004)于2004年9月13~17日在德国慕尼黑南部约100公里处的Garmisch-Partenkirchen举行。会议由欧洲等离子体和离子表面工程联合委员会主办,会议主席为奥地利维也纳的H.Sttiri。会议的目的在于为等离子体、离子/粒子束表面改性和工程,以及等离子体和离子位子束辅助涂层和薄膜沉积的研究、发展和应用的最新进展的交流提供机会。提交的论文对于澄清过程参数之间的关系,

关 键 词:等离子体  表面工程  第9届  会议  国际  2004年9月  表面改性  薄膜沉积  过程参数  慕尼黑  委员会  维也纳  奥地利  粒子束
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