提高Si_3N_4结合SiC棚板坯体成型密度的研究

为了获得性能优良的Ｓｉ３Ｎ４－ＳｉＣ棚板，就棚板制造过程中的配料及成型工艺等问题进行了实验研究，探讨了提高Ｓｉ３Ｎ４－ＳｉＣ棚板坯体密度的最佳途径。实验表明：振动成型时，振动时间和振动压力要匹配适当，才能得到最佳的坯体密度。工艺调整适当后，Ｓｉ３Ｎ４－ＳｉＣ棚板实际使用寿命可达５００次以上。

Study on the Improvement about the Bulk Density of Green Body of Si_3N_4-SiC Shelf

In　order　to　obtain　the　superior　quality　of　Si_3N_4 SiC　shelf,the　problems　about　ingredients　and　mould　techniques　in　the　process　of　shelf　manufacture　are　experimentalized,and　the　optimum　method　to　improve　the　bulk　density　of　green　body　of　Si_3N_3 SiC　shelf　is　investigated.The　experiments　show　that　the　optimum　density　of　green　body　can　be　got　only　if　the　vibration　time　matches　the　vibration　bressure　during　moulding　vibration.After　the　proper　adjustment　of　technique,the　Si_3N_4 SiC　shelf　can　be　used　repeatedly　above　500　times.