基于氧化铟气体传感器的研究现状 |
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引用本文: | 臧传伟,郭雨,唐伟,杜学舰,修显武.基于氧化铟气体传感器的研究现状[J].山东师范大学学报(自然科学版),2019(1). |
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作者姓名: | 臧传伟 郭雨 唐伟 杜学舰 修显武 |
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作者单位: | 山东师范大学物理与电子科学学院光学与光子器件山东省重点实验室;山东师范大学物理与电子科学学院光电功能材料与器件山东省"十三五"高校重点实验室 |
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摘 要: | 氧化铟作为一种比较新的气敏材料,在一定程度上解决了现有气体传感器中存在的选择性差和工作温度高等问题.近几年来大量的文献报道了氧化铟传感器检测O_3、 CO、 NO_2等气体.本文按照被检测气体的种类,从In_2O_3的气敏材料制备及气敏性能两方面对现有In_2O_3气体传感器进行了论述,并指出了In_2O_3半导体气体传感器的发展方向.
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