| 反应磁控溅射方法制备BCN薄膜的高温抗氧化性 |
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| 引用本文： | 陈向阳,张瑾,胡海霞,马胜利.反应磁控溅射方法制备BCN薄膜的高温抗氧化性[J].安徽理工大学学报(自然科学版),2013(3):52-57. |
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| 作者姓名： | 陈向阳 张瑾 胡海霞 马胜利 |
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| 作者单位： | 1. 安徽理工大学机械工程学院,安徽 淮南,232001
2. 西安交通大学材料科学与工程学院,陕西 西安,710049 |
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| 摘 要： | 为了考察BCN薄膜的高温抗氧化,用反应磁控溅射方法在高速钢基体上制备了BCN硬质薄膜材料,用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电镜(HRTEM)、扫描电镜(SEM)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)和显微硬度计等方法研究了BCN薄膜的高温抗氧化行为。结果表明:BCN薄膜在500℃以下具有较好的抗氧化性能,氧化温度高于600℃,薄膜被严重氧化,薄膜中C含量的增加使薄膜的高温抗氧化性能降低。分析认为,薄膜在500℃以下氧化时,氧气在薄膜内的扩散比较困难,薄膜不易被氧化;当氧化温度高于600℃时,由于薄膜中的C-C键和C-N键被氧化,在薄膜中留下较多的微孔,这些微孔能为氧气扩散提供快速通道,加速薄膜的氧化。
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| 关 键 词： | BCN薄膜 抗氧化 C含量 |
Oxidation Resistance Behavior of BCN Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering |
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| CHEN Xiang-yang
,
ZHANG Jin
,
HU Hai-xia
,
MA Sheng-li.Oxidation Resistance Behavior of BCN Films Prepared by Reactive Magnetron Sputtering[J].Journal of Anhui University of Science and Technology:Natural Science,2013(3):52-57. |
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| Authors: | CHEN Xiang-yang ZHANG Jin HU Hai-xia MA Sheng-li |
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| Institution: | CHEN Xiang-yang;ZHANG Jin;HU Hai-xia;MA Sheng-li;School of Mechanical Engineering,Anhui University Of Science and Technology;State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials,Xi’an Jiaotong University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BCN films oxidation C content |
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