| APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 窦玉博,许莹.APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的研究进展[J].河北理工大学学报（自然科学版）,2011,33(2). |
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| 作者姓名： | 窦玉博 许莹 |
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| 作者单位： | 河北联合大学材料学院,河北唐山,063009 |
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| 摘 要： | 介绍了APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的发展过程,总结了APCVD工艺设备及参数对ZnO基TCO薄膜性能的影响.展望了APCVD法结合浮法玻璃生产工艺在线生产ZnO基TCO薄膜的产业化应用前景.
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| 关 键 词： | ZnO TCO薄膜 APCVD |
Research Progress on ZnO-based TCO Films Prepared by APCVD |
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| DOU Yu-bo,XU Ying.Research Progress on ZnO-based TCO Films Prepared by APCVD[J].Journal of Hebei Institute of Technology(Natural Science Edition),2011,33(2). |
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| Authors: | DOU Yu-bo XU Ying |
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