| 一种新型微机械热导压力敏感器及其数值模拟 |
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| 引用本文： | 赖宗声 Alleg.,W.一种新型微机械热导压力敏感器及其数值模拟[J].华东师范大学学报(自然科学版),1994(1):50-55. |
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| 作者姓名： | 赖宗声 Alleg. W |
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| 作者单位： | 上海华东师范大学电子科学系 |
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| 摘 要： | 本文研究了一种新型微机械ＣＭＯＳ热导压力敏感器。其压力测量范围是０．００１－１００ Ｔｏｒｒ。整个量程范围内，多晶硅热敏电阻相对变化（即灵敏度）优於３０％。为使敏感器结构性能优化，我们首次开发了一软件包对器件热电性能进行数值模拟。三维模拟问题被简化为两个２－Ｄ模拟，并将由稳态能量平衡得到的方程组离散化用非线性Ｇａｕｓｓ－Ｓｅｉｄｅｌ算法迭代求解。器件敏度的模拟结果和实验值相吻合。文中还对温度分布进
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| 关 键 词： | 微机械 数值模拟 热导压力 |
A New Micromachined Thermal Conductivity Pressure Sensor and Its Numerical Modeling |
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| Lai Zongsheng.A New Micromachined Thermal Conductivity Pressure Sensor and Its Numerical Modeling[J].Journal of East China Normal University(Natural Science),1994(1):50-55. |
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| Authors: | Lai Zongsheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micromachine sensor numerical modeling |
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