| 一种新型可调式微机械光衰减器 |
| |
| 引用本文： | 杨震,李国栋,彭德艳,忻佩胜,赖宗声,朱自强.一种新型可调式微机械光衰减器[J].华东师范大学学报(自然科学版),2004,2004(3):71-75. |
| |
| 作者姓名： | 杨震 李国栋 彭德艳 忻佩胜 赖宗声 朱自强 |
| |
| 作者单位： | 华东师范大学,信息科学技术学院,上海,200062 |
| |
| 基金项目： | 国家杰出青年基金(69925409)
上海科技发展基金(012261028)
上海市科委AM基金(0201)和(0301)
上海市重点学科建设项目(2001) |
| |
| 摘 要： | 讨论基于抗反射结构（Mechanical Anti-Reflection Structure ,MARS）的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法，研制了一种工作在 1 320~1 550nｍ波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制备该衰减器使用常规的硅平面工艺，制作简单，成本较低.器件体积小，响应速度快，可适应日益增长的波分复用（wavelength division multiplex,WDM）全光网的发展.
|
| 关 键 词： | 微光机电系统 抗反射结构 可调式光衰减器 静电力驱动 微光机电系统 抗反射结构 可调式光衰减器 静电力驱动 |
| 文章编号： | 1000-5641(2004)03-0071-05 |
| 收稿时间： | 2003-3-31 |
| 修稿时间： | 2003年3月1日 |
A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator |
| |
| YANG Zhen,LI Guo-dong,PENG De-yan,XIN Pei-sheng,LAI Zhong-sheng,ZHU Zi-qiang.A New Static-electronic Driving Variable Optical Attenuator[J].Journal of East China Normal University(Natural Science),2004,2004(3):71-75. |
| |
| Authors: | YANG Zhen LI Guo-dong PENG De-yan XIN Pei-sheng LAI Zhong-sheng ZHU Zi-qiang |
| |
| Institution: | Information Science and Technology College,East China Normal University,Shanghai 200062,China |
| |
| Abstract: | Optical attenuator is a key component in a fiber network. This paper reports a new kind of Silicon-based Variable Optical Attenuator(VOA) based on Micro-Opto-Electro-Mechanical System(MOEMS) technique. The device is designed to work on the wavelength range of 1 320 nm to 1 550 nm. |
| |
| Keywords: | MOEMS MARS variable optical attenuator static-electronic driving |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《华东师范大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《华东师范大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 |
