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a—Si:H太阳电池的RBS技术分析
引用本文:冯良桓 ,谢必正 ,郭华聪 ,王明华 ,蔡亚平 ,夏宜君 ,杨经福 ,周心明.a—Si:H太阳电池的RBS技术分析[J].四川大学学报(自然科学版),1988(1).
作者姓名:冯良桓  谢必正  郭华聪  王明华  蔡亚平  夏宜君  杨经福  周心明
摘    要:用背散射技术分析了辉光放电法制备的非晶硅太阳电池。测出了a—Si:H、Al、ITO各层膜的厚度,H和C在非晶硅氢合金中的浓度。分析出了a—Si:H表面含有的某些金属杂质的浓度。消除这些杂质后,a—Si:H大阳电池的性能和稳定性得到改善。

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