a—Si:H太阳电池的RBS技术分析 |
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引用本文: | 冯良桓
,谢必正
,郭华聪
,王明华
,蔡亚平
,夏宜君
,杨经福
,周心明.a—Si:H太阳电池的RBS技术分析[J].四川大学学报(自然科学版),1988(1). |
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作者姓名: | 冯良桓 谢必正 郭华聪 王明华 蔡亚平 夏宜君 杨经福 周心明 |
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摘 要: | 用背散射技术分析了辉光放电法制备的非晶硅太阳电池。测出了a—Si:H、Al、ITO各层膜的厚度,H和C在非晶硅氢合金中的浓度。分析出了a—Si:H表面含有的某些金属杂质的浓度。消除这些杂质后,a—Si:H大阳电池的性能和稳定性得到改善。
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