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| 利用离子束辅助沉积技术在GCr15钢基上生成TiCxNy膜的研究 | |
| 引用本文： | 王培录,孙官清,刘仲阳,廖小东,郑思孝.利用离子束辅助沉积技术在GCr15钢基上生成TiCxNy膜的研究[J].四川大学学报(自然科学版),1998,35(1):38-42. |
| 作者姓名： | 王培录 孙官清 刘仲阳 廖小东 郑思孝 |
| 作者单位： | 原子核科学技术研究所辐射物理与技术国家教委开放实验室 |
| 摘 要： | 用离子束辅助沉积技术在ＧＣｒ１５钢基体上形成了ＴｉＣｘＮｙ膜．ＴＥＭ观察揭示，膜呈多晶结构，具有（１１１），（２００）和（２２０）择优取向．ＡＥＳ和ＸＰＳ分析进一步证实，ＴｉＣｘＮｙ膜呈含氧配置．膜的硬度和摩擦特性与Ｎ含量有关，Ｎ的过高含量对提高表面硬度不明显，但摩擦特性明显下降．在作者的实验条件下，以３×１０１７／ｃｍ２的注量为宜．干摩擦表明，膜的抗氧化性能优良．不仅存在能有效地抑制基体在摩擦过程中形成的氧化皮，又由于硬度高，润滑性良好，还能显著地改善基体的耐磨粒磨损特性． |
| 关 键 词： | 离子束辅助沉积 氮碳化钛 GCr15钢 膜 涂层 |
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