一种SOL-GEL制备钛酸锶钡(BST)薄膜新路线的工艺研究 |
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引用本文: | 李桂英,余萍,肖定全,王欢.一种SOL-GEL制备钛酸锶钡(BST)薄膜新路线的工艺研究[J].四川大学学报(自然科学版),2005(Z1). |
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作者姓名: | 李桂英 余萍 肖定全 王欢 |
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作者单位: | 四川大学材料科学系 四川大学材料科学系 成都 |
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摘 要: | 研究利用钡、锶的碳酸盐代替醋酸盐,采用sol-gel技术制备Ba1-xSrxTi O3(BST)铁电薄膜的工艺过程.以碳酸钡、碳酸锶和钛酸四丁酯作原料,采用sol-gel工艺制备BST薄膜,对比研究了用两种混合溶剂制胶和制膜的工艺.通过XRD分析了薄膜的结构,用AFM测定表面形貌,结果表明,采用碳酸盐作为钡、锶的原料,用冰醋酸和乙二醇甲醚混合液作溶剂,可配制出澄清透明、能长时间放置的溶胶,并制备出膜厚均匀、表面光洁致密、没有裂纹的全钙钛矿相的BST薄膜.
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关 键 词: | BST薄膜 溶胶-凝胶法 薄膜制备工艺 |
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