| 退火对大面积CdTe多晶薄膜薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 王文武,雷智,郑家贵,冯良桓,邓懿,蔡亚萍,张静全,黎兵,武莉莉,李卫.退火对大面积CdTe多晶薄膜薄膜的影响[J].四川大学学报(自然科学版),2010,47(4). |
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| 作者姓名： | 王文武 雷智 郑家贵 冯良桓 邓懿 蔡亚萍 张静全 黎兵 武莉莉 李卫 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学与工程学院,四川大学材料科学与工程学院,,,,,,,, |
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| 摘 要： | 对近空间升华法制备的大面积（30*40cm2）CdTe多晶薄膜用不同方法进行退火处理，用XRD、C～V、I～V等研究了退火条件，退火方式对薄膜结构和器件性能的影响。结果表明：刚沉积的CdTe多晶薄膜呈立方相，沿着（111）方向择优取向而退火后（111）（220）（311）等峰都有不同程度的增加。在纯氧气氛下，400℃退火还出现了新峰。随着退火温度的增加，电导激活能降低。经过连续退火装置在400℃下退火30分钟的电池，1/C2和V成线性关系，具有较高的掺杂浓度、较理想的二极管因子和较高的转换效率。
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| 关 键 词： | 大面积CdTe多晶薄膜、退火 |
the Effect of Large Scale CdTe Polycrystalline Film of Annealing |
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| wang wen-wu,lei zhi,and.the Effect of Large Scale CdTe Polycrystalline Film of Annealing[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2010,47(4). |
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| Authors: | wang wen-wu lei zhi and |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | large scale CdTe polycrystalline film anneal |
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