| CdTe薄膜的制备和后处理研究 |
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| 引用本文： | 蔡伟,冯良桓,蔡亚平,张静全,武莉莉.CdTe薄膜的制备和后处理研究[J].四川大学学报(自然科学版),2002,39(2):273-276. |
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| 作者姓名： | 蔡伟 冯良桓 蔡亚平 张静全 武莉莉 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学系,成都,610064 |
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| 摘 要： | 用近空间升华法制备CdTe薄膜，研究了在不同衬底材料、基片温度下薄膜的微结构、衬底温度在400℃以上薄膜结晶状况较为完整。结晶状况较好的CdS薄膜上生长的CdTe薄膜晶粒较大，尺寸均匀。对CdTe薄膜进行了加热后处理研究。结果表明，加用CdCl2有助于热处理过程中薄膜晶粒的生长。
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| 关 键 词： | CdTe薄膜 近空间升华法 退火 碲化镉薄膜 多晶薄膜电阳电池 热处理 薄膜生长 制备方法 |
| 文章编号： | 0490-6756(2002)02-0273-04 |
STUDY OF DEPOSITION AND ANNEALING OF CdTe FILMS |
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| CAI Wei,FENG Liang-huan,CAI Ya-ping,ZHANG Jing-quan,WU Li-li.STUDY OF DEPOSITION AND ANNEALING OF CdTe FILMS[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2002,39(2):273-276. |
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| Authors: | CAI Wei FENG Liang-huan CAI Ya-ping ZHANG Jing-quan WU Li-li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdTe close-space sublimation solar cells annealing |
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