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| 射频磁控溅射司太立合金淀积薄膜的主要元素成份测量 | |
| 引用本文： | 黄宁康 ,王明华 ,郭华聪 ,彭秀峰.射频磁控溅射司太立合金淀积薄膜的主要元素成份测量[J].四川大学学报(自然科学版),1986(3). |
| 作者姓名： | 黄宁康 王明华 郭华聪 彭秀峰 |
| 摘 要： | 司太立合金是动力工业上一种重要的合金材料,它是一种钴基合金,具有优良的抗水蚀性能,尤其是核动力发电设备上具有特殊的用途.在发电设备中,通常将司太立合金的条状薄板熔焊在基体上,但由于热效应引起的工件变形及内应力,不得不采取后工艺加以消除,其效果亦不是十分满意.本工作试图采用磁控溅射技术直接在基体上形成一层司太立合金薄膜。磁控溅射七十年代发展起来的一种新型技术,它与一般溅射相比,其优点是淀积速率快,基体温度低,损伤小.但由于各种元素的溅射系数差别较大,因此溅射形成合金需要一段平衡时间,溅射系数最高的成份优先溅射以后, |
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