| 无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究 |
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| 引用本文： | 郑宇,王景全,金凤泽,张志友,牛晓云,杜惊雷.无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究[J].四川大学学报(自然科学版),2009,46(5):1423-1428. |
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| 作者姓名： | 郑宇 王景全 金凤泽 张志友 牛晓云 杜惊雷 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学物理科学与技术学院,纳光子技术研究所,成都,610064;武警成都指挥学院教研部,成都,610213
2. 四川大学物理科学与技术学院,纳光子技术研究所,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，教育部博士点基金 |
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| 摘 要： | 多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程进行模拟分析的专门软件.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,并采用VC和Matlab库函数混合编程编制了可计算多束SPPS干涉光刻成像的仿真软件.模拟和分析表明,该模型及软件计算准确、快速,达到预期效果,为实现无掩模SPPs干涉光刻全过程模拟和曝光实验研究的开展提供了技术支撑.
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| 关 键 词： | 多束SPPs 干涉光刻 模拟软件 混合编程 |
Multi-beam interference simulation software of SPPs |
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| ZHENG Yu,WANG Jing-Quan,JIN Feng-Ze,ZHANG Zhi-You,NIU Xiao-Yun and DU Jing-lei.Multi-beam interference simulation software of SPPs[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2009,46(5):1423-1428. |
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| Authors: | ZHENG Yu WANG Jing-Quan JIN Feng-Ze ZHANG Zhi-You NIU Xiao-Yun and DU Jing-lei |
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| Institution: | Institute of Physics Science and Technology, Sichuan University;Department of Teaching and Research, Chengdu Command College of Chinese Armed Police;Institute of Physics Science and Technology, Sichuan University;Institute of Physics Science and Technology, Sichuan University;Institute of Physics Science and Technology, Sichuan University;Institute of Physics Science and Technology, Sichuan University;Institute of Physics Science and Technology, Sichuan University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multi-beam SPPs interference lithography simulation software hybrid programming |
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