| 纳米二氧化钛薄膜的磁控溅射制备和结构特性表征 |
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| 引用本文： | 刘彭义,张丽丽,叶海,叶勤,唐振方.纳米二氧化钛薄膜的磁控溅射制备和结构特性表征[J].暨南大学学报,2004,25(3):293-296,301. |
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| 作者姓名： | 刘彭义 张丽丽 叶海 叶勤 唐振方 |
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| 作者单位： | 暨南大学物理系,广东,广州,510632 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金资助项目(021169)，广州市科技攻关计划项目(2003Z3-D2011) |
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| 摘 要： | 用磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜，对制膜的工艺参数进行了详细的测试分析，X射线衍射(XRD)分析表明退火温度提高，TiO2薄膜结晶度增加，800℃下退火2h,TiO2薄膜完全转化为金红石结构，其分子式为Ti8O15，出现氧空位．
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| 关 键 词： | 磁控溅射 TiO2薄膜 热处理 晶相转变 |
| 文章编号： | 1000-9965(2004)03-0293-04 |
Fabrication and characterization of nano-titanium dioxide thin films by magnetron sputtering method |
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| LIU Peng-yi,ZHANG Li-li,YE Hai,YE Qin,TANG Zhen-fang.Fabrication and characterization of nano-titanium dioxide thin films by magnetron sputtering method[J].Journal of Jinan University(Natural Science & Medicine Edition),2004,25(3):293-296,301. |
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| Authors: | LIU Peng-yi ZHANG Li-li YE Hai YE Qin TANG Zhen-fang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering titanium dioxide thin films annealing crystal phase transfer |
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