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| 不同加速电压对不导电样品扫描电镜图像的影响 | |
| 引用本文： | 曹水良,梁志红,尹平河.不同加速电压对不导电样品扫描电镜图像的影响[J].暨南大学学报,2014,0(4):357-360. |
| 作者姓名： | 曹水良 梁志红 尹平河 |
| 作者单位： | 曹水良 (暨南大学 分析测试中心,广东 广州,510632)； 梁志红 (暨南大学 分析测试中心,广东 广州,510632)； 尹平河 (暨南大学 分析测试中心,广东 广州,510632)； |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(81070279)；广东省科技计划项目(项目编号：2011B020303006) |
| 摘 要： | 利用蔡司Ultra55场发射扫描电镜观察原子力显微镜探针和聚苯乙烯微球在不同加速电压下的二次电子图像和能量选择式背散射电子图像.结果发现:在合适的低加速电压下,样品可以直接观察,不需喷金处理,而且二次电子图像所呈现的样品表面细节更丰富,更清晰;能量选择式背散射电子图像样品成分衬度明显,可以有效消除荷电现象和各种假象. |
| 关 键 词： | 场发射扫描电镜 二次电子图像 能量选择式背散射电子图像 低加速电压 荷电现象 |
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