硅一体化薄膜微电极电化学传感器件的稳定性研究 |
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引用本文: | 周仲柏,吴青海.硅一体化薄膜微电极电化学传感器件的稳定性研究[J].武汉大学学报(自然科学版),1997,43(2):163-168. |
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作者姓名: | 周仲柏 吴青海 |
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作者单位: | [1]武汉大学化学系 [2]美国凯斯西储大学电子设计中心和爱迪生传感器技术中心 |
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摘 要: | 研究了讨论他硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题。以电流型CO2薄膜微电极传感器件为例,通过改进器件构型设计,发展稳定的Ag^+/Ag参比电极取代常规的Ag/AgCl电极,及在硅微机械加工 作相应的变动,使器件中的电化学串音减至最小并得到有效的控制,器件长期稳定性和使用寿命有了大的改善。
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关 键 词: | 电化学传感 硅 微机械加工 微电极 薄膜 |
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