蒙特卡罗法模拟低失能近轴背散射电子能谱

用蒙特卡罗法模拟了探测到的高能同轴凝散射电子的能谱，分析了入射电子能量、靶原子序数和探测角对归一化能谱的影响，结果表明：当入射电子能量增加和靶原子序数减小时，弹性散射峰值逐渐降低，背散射电子数峰位向低能端移动；探测角的改变对能谱形状基本没有影响，利用较低的入射能量、较大的探测能量窗口和角值有利于背散射率的提高；大的入射电子能量和小的探测能量窗口对应较大的背散射率的相对变化率，探测角值对背射率的相对变化率基本没有影响，可以利用大的探测角值提高背散射率以改善信噪比。