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| 空间分辨光谱测量研究准分子激光对AI表面的烧蚀 | |
| 引用本文： | 张抗战,方尔梯.空间分辨光谱测量研究准分子激光对AI表面的烧蚀[J].华东理工大学学报(自然科学版),1994,20(5):668-672. |
| 作者姓名： | 张抗战 方尔梯 |
| 摘 要： | 采用空间分辨光谱测量技术，研究了３０８ｎｍ紫外激光烧蚀Ａｌ表面发射粒子的动力学过程。通过测量溅射粒子发射谱中Ａｌ（Ｉ）３９６．１和Ａｌ（Ⅱ）２８１．７ｎｍ线强度的空间分布，以及激光能量密度和不同烧蚀环境压力对它们的发射强度空间分布的影响，讨论了紫外３０８ｎｍ激光溅射Ａｌ表面发射粒子的微观过程。认为Ａｌ原子和Ａｌ离子的激发机理不完全相同，它们除被等离子体中的高电子碰撞激发外，Ａｌ离子和电子的复合，也 |
| 关 键 词： | 激光 烧蚀 铝 空间分辨光谱 |
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