| 衬底温度对铝掺杂氧化锌薄膜生长及其微结构性能的影响 |
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| 引用本文： | 陈首部,韦世良.衬底温度对铝掺杂氧化锌薄膜生长及其微结构性能的影响[J].中南民族大学学报(自然科学版),2015(3):72-78. |
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| 作者姓名： | 陈首部 韦世良 |
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| 作者单位： | 1 中南民族大学电子信息工程学院，武汉430074; 2 广西科技师范学院物理与信息科学系，柳州545004 |
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| 基金项目： | 湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418) |
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| 摘 要： | 以铝掺杂氧化锌(Zn O:Al)陶瓷靶作为溅射材料,采用RF磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了Zn O:Al半导体薄膜,通过X射线衍射(XRD)测试研究了衬底温度对Zn O:Al薄膜生长特性及其微结构性能的影响.研究表明:衬底温度对薄膜生长和微结构均具有明显的影响;随着衬底温度的升高,薄膜(002)晶面取向度和平均晶粒尺寸表现为先增大后减小的变化趋势,而半高宽、微应变和位错密度则呈现出先减小后增大的变化趋势.当衬底温度为650 K时,Zn O:Al薄膜具有最高的(002)晶面取向度、最大的晶粒尺寸、最窄的半高宽、最低的微应变、最小的位错密度,其结晶性能和微结构性能最佳.
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| 关 键 词： | 氧化锌 薄膜 X射线衍射 微结构 |
The Influence of Substrate Temperature on Growth
and Mircostructure of ZnO: Al Thin Films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film X-ray diffraction microstructure |
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