| 掺钛GZO透明半导体薄膜的光学性质研究 |
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| 引用本文： | 钟志有,陆轴,龙路.掺钛GZO透明半导体薄膜的光学性质研究[J].中南民族大学学报(自然科学版),2015(3):64-71. |
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| 作者姓名： | 钟志有 陆轴 龙路 |
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| 作者单位： | 1 中南民族大学电子信息工程学院，武汉430074; 2 中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室，武汉430074 |
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| 基金项目： | 湖北省自然科学基金资助项目( 2011CDB418) ; 中南民族大学研究生创新基金资助项目( 2015sycxjj008) ; 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目( CZW14019) |
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| 摘 要： | 以钛掺杂氧化锌镓(GZO)陶瓷靶作为溅射源材料,采用射频磁控溅射技术在玻璃基片上制备了掺钛GZO(GZO:Ti)透明半导体薄膜,利用光谱拟合方法计算了GZO:Ti薄膜的折射度、消光系数和厚度等光学参数,研究了氩气压强对GZO:Ti薄膜光学性质的影响.结果表明:拟合光谱曲线与实验测量光谱曲线一致,薄膜的光学性质与氩气压强密切相关,GZO:Ti薄膜折射率随波长增大而逐渐减小,表现出正常的色散性质.另外还采用包络法计算了GZO:Ti薄膜的折射率和厚度,两种方法所获得的结果是基本相符的.
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| 关 键 词： | 掺杂氧化锌 透明半导体薄膜 光学常数 |
Study on the Optical Properties of Titanium Doped GZO
Transparent Semiconductor Thin Films |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | doped zinc oxide transparent conductive films optical constants |
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