等离子体渗氮用微脉冲电源的研制 |
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引用本文: | 熊承义,孙奉娄.等离子体渗氮用微脉冲电源的研制[J].中南民族大学学报(自然科学版),2002,21(1):39-41. |
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作者姓名: | 熊承义 孙奉娄 |
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作者单位: | 中南民族大学电子与信息工程学院,武汉,430074 |
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基金项目: | 国家民委科研基金资助项目(MZY99001) |
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摘 要: | 研制开发了一种等离子体渗氮用高频微脉冲电源,其工作频率在100kHz以上,能很好地抑制弧光放电和空心阴极效应,能更有效地实现小孔径内表面等特殊条件下的离子渗氮处理。
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关 键 词: | 微脉冲电源 等离子体 渗氮 |
文章编号: | 1005-3018(2002)01-0039-03 |
修稿时间: | 2001年9月25日 |
Development of Micropulse Power Supply for Plasma Nitriding |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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