| 溶胶-凝胶法制备BaTiO3薄膜 |
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| 引用本文： | 梁鸿东,梁海燕,周方桥.溶胶-凝胶法制备BaTiO3薄膜[J].山西师范大学学报,2006,20(2):29-31. |
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| 作者姓名： | 梁鸿东 梁海燕 周方桥 |
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| 作者单位： | 广州大学物理与电子工程学院物理系,广东,广州,510006 中国人民解放军信息工程大学电子技术学院,广东,广州,510510 广州大学物理与电子工程学院物理系,广东,广州,510006 |
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| 基金项目： | 广东省广州市教育局科研项目 |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)制备BaTiO3薄膜,介绍了Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底及BaTiO3薄膜的制备工艺过程,对薄膜的表面形貌进行了观察分析,同时对其介电与频率关系进行了测试.结论显示,经900℃、120min退火处理的BaTiO3薄膜的结晶性能优良,并具有一定的电学性能.
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| 关 键 词： | Sol-Gel BaTiO3薄膜 电学性能 |
| 文章编号： | 1009-4490(2006)02-0029-03 |
| 修稿时间： | 2005年11月10 |
Preparation of Barium Titanate Thin films by Sol-Gel Processing |
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| Liang Hong-dong,Liang Hai-Yan,Zhou Fan-qiao.Preparation of Barium Titanate Thin films by Sol-Gel Processing[J].Journal of Shanxi Teachers University,2006,20(2):29-31. |
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| Authors: | Liang Hong-dong Liang Hai-Yan Zhou Fan-qiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol-Gel |
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