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a—Si1—xCx:H钝化膜热稳定性的研究
引用本文:张亚菲,李亚红.a—Si1—xCx:H钝化膜热稳定性的研究[J].兰州大学学报(自然科学版),1990,26(4):38-43.
作者姓名:张亚菲  李亚红
摘    要:

关 键 词:半导体  钝化膜  热稳定性  半绝缘体
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