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| PECVD Si_3N_4膜构成MNOS结构的退火行为 | |
| 引用本文： | 李思渊 ,张旗 ,王毓珍 ,张同军.PECVD Si_3N_4膜构成MNOS结构的退火行为[J].兰州大学学报(自然科学版),1987(1). |
| 作者姓名： | 李思渊 张旗 王毓珍 张同军 |
| 摘 要： | 从实验上研究了 PECVD 法 Si_3N_4膜构成的 MNOS 结构经不同类型的热处理后其界面性能的变化,并对有关效应的作用机制进行了探讨。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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