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激光微细加工在电子工业中的应用
引用本文:黄黎红.激光微细加工在电子工业中的应用[J].莆田高等专科学校学报,2001,8(4):38-41.
作者姓名:黄黎红
摘    要:从电子工业的角度出发,介绍激光微细加工的应用,包括:激光打标、细导线剥离、微透镜列阵、激光光刻、激光表面改性等,并综述了它们的研究现状和未来发展趋势。

关 键 词:激光  微细加工  电子工业  光刻
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