| 化学蚀刻在光纤光栅低频微振加速度传感器中的应用 |
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| 引用本文： | 李颖.化学蚀刻在光纤光栅低频微振加速度传感器中的应用[J].燕山大学学报,2004,28(4):341-343. |
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| 作者姓名： | 李颖 |
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| 作者单位： | 三门第二高级中学,浙江,三门,317100 |
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| 摘 要： | 介绍了一种自行研究应用双光纤光栅作为传感元件的加速度传感器制作方案，在理论上论证了使用双光纤光栅对加速度的测量具有不受温度影响和增加灵敏度的优点。同时，分析了化学蚀刻在Si晶体上制作光纤光栅加速度传感器的具体工作过程，以及残余应力对传感器的影响。
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| 关 键 词： | 光纤光栅 化学蚀刻 低频 加速度传感器 灵敏度 优点 晶体 传感元件 制作 使用 |
| 文章编号： | 1007-791X(2004)04-0341-03 |
| 修稿时间： | 2004年3月23日 |
Application of chemistry etch in low frequency accelerometer based on fiber grating |
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| LI Ying.Application of chemistry etch in low frequency accelerometer based on fiber grating[J].Journal of Yanshan University,2004,28(4):341-343. |
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| Authors: | LI Ying |
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| Institution: | LI Ying
1. The No. 2 High School of Sanmen,Zhejiang 317100,China |
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| Abstract: | A facture scheme of accelerometers in which double fiber grating used as sensors is introduced. The double fiber grating used in the acceleration measure has the excellence of temperature immunity and high sensitivity is demonstrated in the paper, and the facture process of fiber grating accelerometers by chemistry etch on the Si crystal and the influence of remnant stress on the sensor is analysed. |
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| Keywords: | accelerometers fiber grating chemistry etch |
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