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| 离子注入聚醚砜（PES）膜的介电频谱与红外光谱分析 | |
| 引用本文： | 岳喜成,王润轩.离子注入聚醚砜（PES）膜的介电频谱与红外光谱分析[J].宝鸡文理学院学报(自然科学版),1998,18(3):22-27. |
| 作者姓名： | 岳喜成 王润轩 |
| 作者单位： | 宝鸡文理学院物理系 |
| 摘 要： | 用15keVAr^ 和N^ 注入纯PES膜和掺碘PES膜，掺碘PES样品离子注入后的介电谱表明，随注入剂量的增加，损耗峰秽向高频，损耗峰的高度下降。离子注入纯PES膜的介电损耗在(0～10)MHz内小于0．062，没有松驰特性，是制作布线的理想材料。红外光谱表明，离子注入引起PES膜结构变化。 |
| 关 键 词： | 介电损耗 红外光谱 离子注入 |
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