| 离子束刻蚀固体表面貌相变化的特征曲线及计算机模拟 |
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| 引用本文： | 张建民.离子束刻蚀固体表面貌相变化的特征曲线及计算机模拟[J].陕西师范大学学报,1993(3). |
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| 作者姓名： | 张建民 |
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| 作者单位： | 陕西师范大学物理学系 西安 |
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| 摘 要： | 当固体表面被荷能离子轰击时,表面貌相发生变化,早在Wehner的实验中就观察到被溅射的球形靶变成为圆锥形状,后来Stewart等对圆锥的形成进行了讨论,指出最终圆锥的底角应为使溅射率Y(θ)取极大值的角度θ_P.本文导出了离子束刻蚀固体表面貌相变化的特征曲线方程,利用微机对球形靶表面貌相变化进行了模拟.其结果和实验基本一致,但圆锥底角为θ_,即是对应于刻蚀速率v(θ)为极值的角度.并从理论上给了初步说明.
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Characteristic line and computer simulation of solid surface contour evolution during ion beam etching |
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| Zhang Jianmin.Characteristic line and computer simulation of solid surface contour evolution during ion beam etching[J].Journal of Shaanxi Normal University: Nat Sci Ed,1993(3). |
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| Authors: | Zhang Jianmin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion beam etching surface contour computer simulation |
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