大口径平面镜检测方法的研究 |
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引用本文: | 田秀云,侯溪.大口径平面镜检测方法的研究[J].科技信息,2009(33):T0050-T0050,T0066. |
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作者姓名: | 田秀云 侯溪 |
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作者单位: | [1]广东海洋大学,广东湛江524088 [2]中科院光电技术研究所,四川成都610209 |
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摘 要: | 在一些高技术项目中,经常需要检测大口径平面镜。本文就目前大口径平面镜常用的三种检测方法(子孔径拼接法、阴影星点法、瑞奇一康芒法)分别进行了讨论,指出了三种方法的优点和局限性。
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关 键 词: | 平面镜 子孔径 瑞奇-康芒 检测 |
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