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| 成果角 | |
| 摘 要： | 浙江省2002年科技成果成果名称：高精度位置敏感探测器（PSD）与微型彩色CMOS的应用开发省内第一完成单位：浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心省内第一完成人：陈钰清内容简介：位置敏感探测器（PSD）是一种光电子器件，它能测量入射光斑或粒子位置坐标，具有分辨率高、响应速度快、信号处理电路简单等优点，适用于位置、距离、位移、角度等其它物理量的精密测量。现已能批量生产梳状结构一维PSD（1mm×8mm）和四边形结构二维PSD（3mm×3mm），年产2万个器件。微型彩色CMOS中应用的光学低通滤波器（OLPF)能有效抑制高手CMOS… |
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