微电子机械的崛起及其应用

1987年,美国加利福尼亚州大学伯克利分校的两位中国留学生用硅制成转子直径为150μm(相当于两根头发丝粗细)的微型电机,轰动了世界,开创了微电子机械这门新兴学科。嗣后,美国、日本、德国、瑞士、法国、荷兰、英国、瑞典等发达国家投入大量人力、物力和财力,积极进行微电子机械的研究与开发。我国追踪微电子机械这一世界前沿科技领域的攻坚始于90年代初,现今有的科研成果已达到国际先进水平。