基于导电AFM类金刚石膜表面改性研究

用导电原子力显微镜(AFM)针对宏观上绝缘，微观上由导电相sp^2和绝缘相sp^3混合的类金刚石(DLC)膜，进行表面改性的研究，尤其观察DLC膜表面施加电压前后形貌变化。实验表明，当直流电压加在针尖上，DLC膜形貌未发生变化，而电压施加在样品表面则出现明显纳米加工凹坑。解释了凹坑的“蝴蝶坑”形成原因；对DLC膜力电耦合实验表明，在一定临界压力之下，随针尖对样品作用力的加大，凹坑的深度随之增加。