| 多层金属膜厚度的无损测量研究 |
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| 引用本文： | 梁鸿生.多层金属膜厚度的无损测量研究[J].西安理工大学学报,1999,15(4):15-20. |
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| 作者姓名： | 梁鸿生 |
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| 作者单位： | 西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西,西安,710048 |
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| 摘 要： | 提出一种用电涡流传感器实现无损在线测量工件金属膜厚度的方法。给电涡流传感器同时施加3种不同频率的激励信号，通过传感器与各层金属膜所感应的电涡密度，可以间接获得2层不同材料的金属膜厚度，同时还可获得传感器与表层被测工件表面的距离。理论分析和实验结果表明了这种方法的可行性。
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| 关 键 词： | 金属膜厚度 无损测量 电涡流 |
| 文章编号： | 1006-4710(1999)04-0015-06 |
| 修稿时间： | 1999-03-11 |
Research on Non-Damaging Measurement of Thickness Metal Plate with Multi-Layers |
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| LIANG Hong-sheng.Research on Non-Damaging Measurement of Thickness Metal Plate with Multi-Layers[J].Journal of Xi'an University of Technology,1999,15(4):15-20. |
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| Authors: | LIANG Hong-sheng |
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| Institution: | LIANG Hong-sheng;
(Xi'an University of Technology,Xi'an 710048,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thickness of metal plate non damaging measuring electric eddy current |
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