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| Cr含量对掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能的影响 | |
| 引用本文： | 张永宏,蒋百灵,刘艳.Cr含量对掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能的影响[J].西安理工大学学报,2009,25(4):394-399. |
| 作者姓名： | 张永宏 蒋百灵 刘艳 |
| 作者单位： | 1. 西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048;陕西理工学院,材料学院,陕西,汉中,723003 2. 西安理工大学,材料科学与工程学院,陕西,西安,710048 3. 陕西理工学院,材料学院,陕西,汉中,723003 |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目 |
| 摘 要： | 采用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了一组不同Cr含量的掺铬类石墨非晶碳膜。测量了薄膜的硬度、内应力以及干摩擦条件下的摩擦系数和比磨损率,利用X射线光电子能谱（XPS）和扫描电子显微术（SEM）分析了薄膜的成分和表面形貌。实验结果表明,掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能均强烈地受到薄膜Cr含量的影响。掺杂铬对类石墨膜具有显著的去应力和软化作用。适量铬的加入不仅能进一步改善这种非晶碳膜的磨擦学性能,而且也有助于降低它的表面粗糙度并提高其致密性。分析结果表明,掺铬类石墨膜的力学和摩擦学性能随着Cr含量增大的变化趋势与薄... |
| 关 键 词： | 掺铬非晶碳膜 力学性能 磨擦学性能 价键结构 |
Influence of Cr content on Mechanical and Tribological Properties of Cr-doped Graphite-like Carbon Films |
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| ZHANG Yong-hong,JIANG Bai-ling,Liu Yan.Influence of Cr content on Mechanical and Tribological Properties of Cr-doped Graphite-like Carbon Films[J].Journal of Xi'an University of Technology,2009,25(4):394-399. | |
| Authors: | ZHANG Yong-hong JIANG Bai-ling Liu Yan |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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